洁净室及受控环境检测

GB/T 36527-2018 洁净室及相关受控环境 节能指南

本标准给出了对洁净室及相关受控环境的节能指南。 本标准适用于洁净室及相关受控环境

Cleanroom and associated controlled environments.Guideline of energy saving

GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

GB/T 25915的本部分给出了洁净室及相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25915.1和GB/T 25915.2中的术语和定义

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 6:Vocabulary

GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行

GB/T 25915的本部分规定了洁净室运行的基本要求，供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题，相关问题应遵守国家和地方的安全法规。本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室。应用范围广泛，但未涉及各个行业的特定要求。本部分未包括洁净室的常规监测方法和规划的

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 5:Operations

GB/T 29469-2012 洁净室及相关受控环境.性能及合理性评价

本标准规定了对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价的程序和内容。 本标准适用于对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价

Cleanrooms and associated controlled environments.Evaluation of performance and rationality

GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境.第3部分：检测方法

警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。 GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 3: Test methods

GB/T 33555-2017 洁净室及相关受控环境静电控制技术指南

Cleanroom and associated controlled environments technical guidelines of electrostatic discharge control

KS I ISO 14644-3-2006(2016 洁净室及相关受控环境第3部分:试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 3：Test methods

GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级

GB/T 25915的本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度,该浓度系指粒径大于或等于阈值(低限)粒径的粒子总数,规定的阈值(低限)粒径为0.1μm～5μm。 本部分未设立0.1μm～5μm 规定粒径以外粒子总数的洁净度等级。但可以用U 描述符和M 描述符

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 1:Classification of air cleanliness

GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分：设计、建造、启动

GB/T 25915的本部分规定了洁净室设施的设计和建造要求，但并未规定满足那些要求所需的具体技术或契约手段。本部分还给出了一份重要性能参数的目录，一并供洁净室设施的需方、供方和设计方使用。本部分给出的包括启动和确认要求的建造指南。在考虑运行和维护的相关事项时，明确了保证持续、满意运行的设计和建造的

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 4:Design,construction and start-up

GB/T 36370-2018 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南

本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。 本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器

Cleanroom and associated controlled environments—Guidelines of application of air filters

GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用

本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。 本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用

Cleanrooms and associated controlled environments—Analysis and application of test technology

GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用

Cleanrooms and associated controlled environments.Guidelines for airborne chemical contamination control

GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级

GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下10⁰g/m³～10<上标 -12

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 8:Classification of airborne molecular contamination

GB/T 29468-2012 洁净室及相关受控环境.围护结构夹芯板应用技术指南

本标准规定了洁净室及相关受控环境围护结构中应用的墙板、吊顶板等夹芯板的产品规格、原材料和技术性能要求、性能检测方法、检验规则及安装中的注意事项等。 本标准适用于洁净室及相关受控环境应用的围护结构中的墙板和吊顶板等夹芯板

Cleanroom and associated controlled environments.Guidelines of partition sandwich panel application technology

GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。 本文件适用于粒径0.1μm~5μm 粒子浓度的监测。 本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1μm 的粒子)浓度的监测

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

GB/T 36527-2018 洁净室及相关受控环境 节能指南

本标准给出了对洁净室及相关受控环境的节能指南。 本标准适用于洁净室及相关受控环境

Cleanroom and associated controlled environments.Guideline of energy saving

GB/T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

GB/T 25915的本部分给出了洁净室及相关受控环境有关的术语和定义，是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T 25915.1和GB/T 25915.2中的术语和定义

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 6:Vocabulary

GB/T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行

GB/T 25915的本部分规定了洁净室运行的基本要求，供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题，相关问题应遵守国家和地方的安全法规。本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室。应用范围广泛，但未涉及各个行业的特定要求。本部分未包括洁净室的常规监测方法和规划的

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 5:Operations

GB/T 29469-2012 洁净室及相关受控环境.性能及合理性评价

本标准规定了对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价的程序和内容。 本标准适用于对洁净室及相关受控环境的性能及合理性评价

Cleanrooms and associated controlled environments.Evaluation of performance and rationality

GB/T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境.第3部分：检测方法

警告——GB/T 25915的本部分的应用可能涉及有害材料、作业和设备。GB/T 25915的本部分未提及与应用有关的所有安全性问题。使用前，GB/T 25915本部分的用户有责任制定适当的安全和卫生措施，并遵守各种强制性规定。 GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 3: Test methods

GB/T 33555-2017 洁净室及相关受控环境静电控制技术指南

Cleanroom and associated controlled environments technical guidelines of electrostatic discharge control

KS I ISO 14644-3-2006(2016 洁净室及相关受控环境第3部分:试验方法

Cleanrooms and associated controlled environments－Part 3：Test methods

GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级

GB/T 25915的本部分划分洁净室及相关受控环境的空气洁净度等级仅依据其内的空气悬浮粒子浓度,该浓度系指粒径大于或等于阈值(低限)粒径的粒子总数,规定的阈值(低限)粒径为0.1μm～5μm。 本部分未设立0.1μm～5μm 规定粒径以外粒子总数的洁净度等级。但可以用U 描述符和M 描述符

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 1:Classification of air cleanliness

GB/T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分：设计、建造、启动

GB/T 25915的本部分规定了洁净室设施的设计和建造要求，但并未规定满足那些要求所需的具体技术或契约手段。本部分还给出了一份重要性能参数的目录，一并供洁净室设施的需方、供方和设计方使用。本部分给出的包括启动和确认要求的建造指南。在考虑运行和维护的相关事项时，明确了保证持续、满意运行的设计和建造的

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 4:Design,construction and start-up

GB/T 36370-2018 洁净室及相关受控环境 空气过滤器应用指南

本标准给出了洁净室及相关受控环境的空气过滤器效率分级和各种过滤器的应用要素。 本标准适用于洁净室及相关受控环境中使用的空气过滤器

Cleanroom and associated controlled environments—Guidelines of application of air filters

GB/T 36066-2018 洁净室及相关受控环境 检测技术分析与应用

本标准给出了洁净室及相关受控环境的检测要求、基本仪器配置和技术要求。 本标准适用于洁净室及相关受控环境的检测技术分析与应用

Cleanrooms and associated controlled environments—Analysis and application of test technology

GB/T 36306-2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南

本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。 本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制。 本标准不适用于核能和军事应用

Cleanrooms and associated controlled environments.Guidelines for airborne chemical contamination control

GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分：空气分子污染分级

GB/T 25915的本部分依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组、类)的浓度,对空气分子污染(AMC)进行分级。同时,本部分在分级技术要求中,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数的规程。 本部分目前只考虑洁净室运行工况下10⁰g/m³～10<上标 -12

Cleanrooms and associated controlled environments.Part 8:Classification of airborne molecular contamination

GB/T 29468-2012 洁净室及相关受控环境.围护结构夹芯板应用技术指南

本标准规定了洁净室及相关受控环境围护结构中应用的墙板、吊顶板等夹芯板的产品规格、原材料和技术性能要求、性能检测方法、检验规则及安装中的注意事项等。 本标准适用于洁净室及相关受控环境应用的围护结构中的墙板和吊顶板等夹芯板

Cleanroom and associated controlled environments.Guidelines of partition sandwich panel application technology

GB/T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数,监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。 本文件适用于粒径0.1μm~5μm 粒子浓度的监测。 本文件不适用于振动或工程系统一般维护等监测。超细粒子(小于0.1μm 的粒子)浓度的监测

Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration