MEMS电场传感器检测

GB/T 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件

本标准规定了MEMS电场传感器(以下简称“传感器”)的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。 本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用

General specification for MEMS electric field sensor

T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求

4 技术要求 环境要求 4.1.1 湿度要求 对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.2 温度要求 对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.3 大气压

Technical Requirements of MEMS VOC Gas Sensor

T/CAB 0156-2022 智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器

本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成，在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制

Metal-oxide MEMS gas sensor for smart home appliances

T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产

Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor

GB/T 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法

Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer

BS IEC 62047-37:2020 半导体器件 微机电器件 传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法

1   Scope This part of IEC 62047 specifies test methods for evaluating the durability of MEMS piezoelectric thin film

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

T/CMSA 0042-2023 雷电电磁场传感器标定

本文件规定了雷电电磁场传感器的标定项目及特性参数要求、标定条件、标定方法、不确定度评定、数据记录及标定结果表达。 本文件适用于雷电电磁场以及其他瞬变电磁场传感器的标定

Lightning electromagnetic field sensor calibration

SILI WAFER BOND TECH VLSI MEMS APPL-2002 用于 VLSI 和 MEMS 应用的硅晶圆键合技术

The book covers the following topics: wafer bonding principles; polish SOI; high volume production of SOI wafer; ELTRAN technology; wafer

Silicon Wafer Bonding Technology for VLSI and MEMS Applications

IEC 62047-37:2020 半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

ASTM F2070-00(2022 压力传感器、压差传感器、压力传感器、电气传感器和光纤传感器

1.1 This specification covers the requirements for pressure and differential pressure transducers for general applications. 1.2 Special requirements

Standard Specification for Transducers, Pressure and Differential, Pressure, Electrical and Fiber-Optic

BS EN IEC 63041-3:2020 压电传感器 物理传感器

What is BS EN IEC 63041 ‑ 3 about? BS EN IEC 63041 ‑ 3 is the third part of in multi-series International standard on Piezoelectric

Piezoelectric sensors - Physical sensors

BS IEC 62047-33:2019 半导体器件 微机电器件 MEMS压阻式压力敏感器件

What is BS IEC 62047-33 - MEMS piezoresistive pressure-sensitive device about ? BS IEC 62047-33 is the 33rd part of an international

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

JJF 1431-2013 风电场用磁电式风速传感器校准规范

本规范适用于风电场用磁电式风速传感器(以下简称风速传感器)3 m/s~30 m/s范围的校准

Calibration Specification of Magnetoelectricity Wind Sensor for Wind Farm

JB/T 9256-1999 电感位移传感器

本标准规定了电感位移传感器的型式、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装和贮存。 本标准适用于由差动电感式检测器和本机（包括振荡器、相敏整流滤波器和稳定直流电源）组成的电感位移传感器

Inductive displacement transducers

GJB 6698-2009 大气静电场传感器标定设备通用规范

本规范规定了大气静电场传感器标定设备（以下简称标定设备）的通用要求。 本规范适用于大气静电场传感器标定设备的研制、生产和产品验收

General specification for calibration equipment of atmosphere electrostatic field sensor

GB/T 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件

本标准规定了MEMS电场传感器(以下简称“传感器”)的原材料、结构组成、技术要求、试验项目和方法、检验规则、包装、存储和运输。 本标准适用于MEMS电场传感器的研制、生产和采购。其他类型的电场传感器可参照使用

General specification for MEMS electric field sensor

T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求

4 技术要求 环境要求 4.1.1 湿度要求 对试验样品进行湿度试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.2 温度要求 对试验样品进行低温、常温、高温试验，试验过程中，试样能正常工作，且满足4.2之要求。 4.1.3 大气压

Technical Requirements of MEMS VOC Gas Sensor

T/CAB 0156-2022 智能家电用金属氧化物MEMS气体传感器

本文件所述MEMS气体传感器由微纳结构的半导体气敏材料结合MEMS工艺的加热器集成制造而成，在硅片上实现了气体浓度检测功能以达到家电的智能反馈控制

Metal-oxide MEMS gas sensor for smart home appliances

T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产

Simulation Specification for Potting Process of Automotive MEMS Pressure Sensor

GB/T 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法

Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer

BS IEC 62047-37:2020 半导体器件 微机电器件 传感器用MEMS压电薄膜环境试验方法

1   Scope This part of IEC 62047 specifies test methods for evaluating the durability of MEMS piezoelectric thin film

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

T/CMSA 0042-2023 雷电电磁场传感器标定

本文件规定了雷电电磁场传感器的标定项目及特性参数要求、标定条件、标定方法、不确定度评定、数据记录及标定结果表达。 本文件适用于雷电电磁场以及其他瞬变电磁场传感器的标定

Lightning electromagnetic field sensor calibration

SILI WAFER BOND TECH VLSI MEMS APPL-2002 用于 VLSI 和 MEMS 应用的硅晶圆键合技术

The book covers the following topics: wafer bonding principles; polish SOI; high volume production of SOI wafer; ELTRAN technology; wafer

Silicon Wafer Bonding Technology for VLSI and MEMS Applications

IEC 62047-37:2020 半导体器件微机电器件第37部分:传感器用MEMS压电薄膜的环境试验方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application

ASTM F2070-00(2022 压力传感器、压差传感器、压力传感器、电气传感器和光纤传感器

1.1 This specification covers the requirements for pressure and differential pressure transducers for general applications. 1.2 Special requirements

Standard Specification for Transducers, Pressure and Differential, Pressure, Electrical and Fiber-Optic

BS EN IEC 63041-3:2020 压电传感器 物理传感器

What is BS EN IEC 63041 ‑ 3 about? BS EN IEC 63041 ‑ 3 is the third part of in multi-series International standard on Piezoelectric

Piezoelectric sensors - Physical sensors

BS IEC 62047-33:2019 半导体器件 微机电器件 MEMS压阻式压力敏感器件

What is BS IEC 62047-33 - MEMS piezoresistive pressure-sensitive device about ? BS IEC 62047-33 is the 33rd part of an international

Semiconductor devices. Micro-electromechanical devices - MEMS piezoresistive pressure-sensitive device

JJF 1431-2013 风电场用磁电式风速传感器校准规范

本规范适用于风电场用磁电式风速传感器(以下简称风速传感器)3 m/s~30 m/s范围的校准

Calibration Specification of Magnetoelectricity Wind Sensor for Wind Farm

JB/T 9256-1999 电感位移传感器

本标准规定了电感位移传感器的型式、基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装和贮存。 本标准适用于由差动电感式检测器和本机（包括振荡器、相敏整流滤波器和稳定直流电源）组成的电感位移传感器

Inductive displacement transducers

GJB 6698-2009 大气静电场传感器标定设备通用规范

本规范规定了大气静电场传感器标定设备（以下简称标定设备）的通用要求。 本规范适用于大气静电场传感器标定设备的研制、生产和产品验收

General specification for calibration equipment of atmosphere electrostatic field sensor