GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H2 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量
Gases for electronic industry--Hydrogen
GB/T 16942-2009 电子工业用气体.氢
本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料
Gas for electronic industry.Hydrogen
GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。 氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究
Gases for electronic industry. Hydrogen chloride
GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
本标准规定了硒化氧的技术要求,试验方法以及包装、标志\迪运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。 它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注人和挨杂。 分子式:HsSe。 相对分子质量:80.975 88(按2007 年国际
Gases for electronic industry.Hydrogen selenide
T/DLSHXH 006-2020 电子工业用气体 硫化氢
本标准规定了电子工业用气体硫化氢的要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于以工业硫化氢为原料经纯化制备的电子工业用气体硫化氢。电子工业用气体硫化氢主要用于半导体PV、LED、LCD、IC等领域。分子式：H2S。相对分子质量：34.08（按2011年国际相对原子质量
Hydrogen sulfide gas for electronics industry
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延
Gases for electronic industry.Arsine
GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。磷化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的色气体
Gas for electronic industry.Phosphine
GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36.458(按
Gases for electronic industry.Hydrogen chloride
GB/T 14851-2009 电子工业用气体.磷化氢
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂
Gas for electronic industry.Phosphine
GB/T 24469-2009 电子工业用气体.5N氯化氢
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
T/CHBAS 26-2022 电子工业用混合气体4%氢/氮
本文件规定了4%氢/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用4%氢/氮混合气（以下简称4%氢/氮混合气），其它组分比例的氢氮混合气可参考执行
Mixed gas 4% hydrogen/nitrogen for electronic industry
T/CHBAS 25-2022 电子工业用混合气体3%氢/氩
本文件规定了3%氢/氩混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用3%氢/氩混合气（以下简称3%氢/氩混合气），其它组分比例的氢氩混合气可参考执行
Mixed gas 3% hydrogen/argon for electronic industry
T/CHBAS 27-2022 电子工业用混合气体5%氢/氦
本文件规定了5%氢/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用5%氢/氦混合气（以下简称5%氢/氦混合气），其它组分比例的氢氦混合气可参考执行
Mixed gas 5% hydrogen/helium for electronic industry
HGB 2010-1956 工业氢气
industrial hydrogen
MSZ 3294-1977 工业用氢气
GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。 本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。 分子式：H2 相对分子质量：2.016（按1991年国际相对原子质量
Gases for electronic industry--Hydrogen
GB/T 16942-2009 电子工业用气体.氢
本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料
Gas for electronic industry.Hydrogen
GB/T 14602-1993 电子工业用气体 氯化氢
本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。 氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究
Gases for electronic industry. Hydrogen chloride
GB/T 26249-2010 电子工业用气体 硒化氢
本标准规定了硒化氧的技术要求,试验方法以及包装、标志\迪运及安全。 本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制得到的硒化氢产品。 它主要用于太阳能电池、半导体和集成电路生产的外延、离子注人和挨杂。 分子式:HsSe。 相对分子质量:80.975 88(按2007 年国际
Gases for electronic industry.Hydrogen selenide
T/DLSHXH 006-2020 电子工业用气体 硫化氢
本标准规定了电子工业用气体硫化氢的要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。本标准适用于以工业硫化氢为原料经纯化制备的电子工业用气体硫化氢。电子工业用气体硫化氢主要用于半导体PV、LED、LCD、IC等领域。分子式：H2S。相对分子质量：34.08（按2011年国际相对原子质量
Hydrogen sulfide gas for electronics industry
GB/T 26250-2010 电子工业用气体 砷化氢
本标准规定了砷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于砷化合物与酸反应获得的砷化氢。在半导体器件制备过程中，砷化氢用于掺杂以及化合物半导体外延
Gases for electronic industry.Arsine
GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。磷化氢是一种剧毒、可燃、具有腐鱼味的色气体
Gas for electronic industry.Phosphine
GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢
本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36.458(按
Gases for electronic industry.Hydrogen chloride
GB/T 14851-2009 电子工业用气体.磷化氢
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂
Gas for electronic industry.Phosphine
GB/T 24469-2009 电子工业用气体.5N氯化氢
本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
T/CHBAS 26-2022 电子工业用混合气体4%氢/氮
本文件规定了4%氢/氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用4%氢/氮混合气（以下简称4%氢/氮混合气），其它组分比例的氢氮混合气可参考执行
Mixed gas 4% hydrogen/nitrogen for electronic industry
T/CHBAS 25-2022 电子工业用混合气体3%氢/氩
本文件规定了3%氢/氩混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用3%氢/氩混合气（以下简称3%氢/氩混合气），其它组分比例的氢氩混合气可参考执行
Mixed gas 3% hydrogen/argon for electronic industry
T/CHBAS 27-2022 电子工业用混合气体5%氢/氦
本文件规定了5%氢/氦混合气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存的要求。 本文件适用于电子工业用5%氢/氦混合气（以下简称5%氢/氦混合气），其它组分比例的氢氦混合气可参考执行
Mixed gas 5% hydrogen/helium for electronic industry
HGB 2010-1956 工业氢气
industrial hydrogen
MSZ 3294-1977 工业用氢气
编辑：北检院编辑部
