离子泵检测

JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵

Vacuum technology - Sputter ion pump

SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法

Sputtering ion pump--Testing methods

JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件

　　本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 　　本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵

Sputtering ion pump technical conditions

JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵

Performance testing method of sputtering ion pump

JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

　　本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 　　本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵

Sputtering ion pump type and basic parameters

REG NASA-LLIS-0545-1996 经验教训 离子泵建议：烘焙、离子规使用

Lessons Learned ?Ion Pump Recommendations: Baking, Ion Gauge Use

SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件

Ordinary two-electrode sputtering ion pump--Performance specification

SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列

Ordinary two-electrode sputtering ion pump--Parameters series

DIN 28429:2003 真空技术.溅射离子泵验收规范

The document purpose of this Standard is to ensure that the evaluation of the features of a Ion Getter pump is to be done under uniform proceedings

Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps

GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量

本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10^－3 Pa 到 1×10^－7 Pa

Vacuum technology.Sputter-ion pumps.Measurement of performance characteristics

NF X10-507:1975 真空技术.喷射离子泵.功能特性的测定

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics.

REG NASA-LLIS-0541-1996 经验教训 真空系统负载和离子泵选择

Lessons Learned - Vacuum System Load and Ion Pump Selection

DIN 28429:2014 真空技术. 离子吸气泵的验收规范

Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps

DIN 28429:2014-05 真空技术 离子吸气泵的验收规范

Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M型离子溅射泵.认证产品质量要求

Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1

Type-GIN-0,5-1M getter-ion pump. Quality requirements of certified products

JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵

Vacuum technology - Sputter ion pump

SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法

Sputtering ion pump--Testing methods

JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件

　　本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。 　　本标准适用于JB/T 4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵

Sputtering ion pump technical conditions

JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵

Performance testing method of sputtering ion pump

JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数

　　本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 　　本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵

Sputtering ion pump type and basic parameters

REG NASA-LLIS-0545-1996 经验教训 离子泵建议：烘焙、离子规使用

Lessons Learned ?Ion Pump Recommendations: Baking, Ion Gauge Use

SJ 1780-1981 普通二极型溅射离子泵.技术条件

Ordinary two-electrode sputtering ion pump--Performance specification

SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列

Ordinary two-electrode sputtering ion pump--Parameters series

DIN 28429:2003 真空技术.溅射离子泵验收规范

The document purpose of this Standard is to ensure that the evaluation of the features of a Ion Getter pump is to be done under uniform proceedings

Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps

GB/T 25755-2010 真空技术.溅射离子泵.性能参数的测量

本标准规定了溅射离子泵（以下简称离子泵）性能参数的测量方法。 本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。 本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10^－3 Pa 到 1×10^－7 Pa

Vacuum technology.Sputter-ion pumps.Measurement of performance characteristics

NF X10-507:1975 真空技术.喷射离子泵.功能特性的测定

Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics.

REG NASA-LLIS-0541-1996 经验教训 真空系统负载和离子泵选择

Lessons Learned - Vacuum System Load and Ion Pump Selection

DIN 28429:2014 真空技术. 离子吸气泵的验收规范

Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps

DIN 28429:2014-05 真空技术 离子吸气泵的验收规范

Vacuum technology - Acceptance specifications for ion getter pumps

GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M型离子溅射泵.认证产品质量要求

Настоящий стандарт распространяется на геттерно-ионный насос типа ГИН-0,5-1

Type-GIN-0,5-1M getter-ion pump. Quality requirements of certified products