GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3 相对分子质量：67.805（按1989年国际相对原子质量
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
HG/T 5787-2021 三氟化硼碳酸二甲酯络合物
HG/T 5789-2021 三氟化硼乙醚络合物
HG/T 5788-2021 三氟化硼乙腈络合物
HG/T 5788～5791-2021 三氟化硼乙腈络合物、三氟化硼乙醚络合物、三甲基碘硅烷和工业用2-甲基四氢呋喃（2021）
GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质 为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂
Gases for electronic industry.Boron trifluoride
HG/T 5784～5787-2021 工业用3-氯代苯酐、工业用4-氯代苯酐、工业用碳酸丙烯酯和三氟化硼碳酸二甲酯络合物（2021）
SN/T 4855-2017 进出口危险化学品检验规程 三氟化硼
GB/T 39708-2020 三氟化硼
Boron trifluoride
GBZ/T 300.35-2017 工作场所空气有毒物质测定第 35 部分：三氟化硼（代替 GBZ/T 160...
GB/T 14603-1993 电子工业用气体 三氟化硼
本标准规定了三氟化硼产品的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求。 本标准适用于以氟硼酸钠为原料，采用热分解法制得的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂。 分子式：BF3 相对分子质量：67.805（按1989年国际相对原子质量
Gases for electronic industry. Boron trifluoride
HG/T 5787-2021 三氟化硼碳酸二甲酯络合物
HG/T 5789-2021 三氟化硼乙醚络合物
HG/T 5788-2021 三氟化硼乙腈络合物
HG/T 5788～5791-2021 三氟化硼乙腈络合物、三氟化硼乙醚络合物、三甲基碘硅烷和工业用2-甲基四氢呋喃（2021）
GB/T 14603-2009 电子工业用气体.三氟化硼
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以氟气和硼单质 为原料，采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼；和以氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离子注入和掺杂
Gases for electronic industry.Boron trifluoride
HG/T 5784～5787-2021 工业用3-氯代苯酐、工业用4-氯代苯酐、工业用碳酸丙烯酯和三氟化硼碳酸二甲酯络合物（2021）
SN/T 4855-2017 进出口危险化学品检验规程 三氟化硼
GB/T 39708-2020 三氟化硼
Boron trifluoride
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编辑：北检院编辑部
